静电卡盘
MITO DENKO
产品特点
用途:光刻工艺, 刻蚀工艺,薄膜沉积工艺,离子注入工艺;
材质:
1.表面陶瓷材料:氮化铝陶瓷,氧化铝陶瓷;
2.电极材料:通常采用金属材料,如铜、铝等,也会镀上一层耐腐蚀、耐高温的金属或合金;
大小:对应用于4 英寸、6 英寸、8 英寸和 12 英寸晶圆。