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微孔陶瓷真空吸盘/载盘
MITO DENKO
产品特点
应用场景:
1、在半导体行业里,晶圆减薄、整型、切片、研磨、清洗等过程中,安置并固定的工作台【固定夹具】;
2、通过高温烧结在材料内部生成大量彼此连体或闭合的均匀实心或者真空体陶瓷,来通过真空吸力将半导体片等工作物固定住;
产品优势:硬度高、散热快、耐磨损、耐酸碱、抗腐蚀能力强,能适应极度恶劣。