碳化硅炉管
MITO DENKO
产品特点
性能优势：
1、碳化硅炉管，扩散炉炉管，高纯碳化硅炉管SIC含量＞99.96%，纯度高，无金属形态杂质，不污染晶圆，适用于半导体集成电路FAB厂商扩散退火氧化工艺；
2、热膨胀系数与非晶硅非常接近，可大大降低LP工艺当中热膨胀原因导致的炉管炸裂，寿命短的问题；
3、耐酸碱腐蚀，酸洗后碳化硅表面无变化，利于炉管重复使用，降低成本；
4、最高使用温度1350℃，可在此温度下长期使用不软化、不变形；
5、材料纯度高，可应用于硼扩工艺内炉管的使用，不会对电池片产生污染。
典型应用：
太阳能电池片LP工艺、PE工艺、氧化工艺、硼扩工艺。
规格型号：
可根据客户图纸制作。
