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首页产品中心碳化硅陶瓷碳化硅桨杆

碳化硅桨杆

MITO DENKO

产品特点

又名：碳化硅悬臂桨，碳化硅扩散桨；
设计特点：
1、在高温环境下不变形，晶片装载力大；
2、耐极冷急热，使用寿命长；
3、悬臂浆热膨胀系数极小，极大地延长了维护清洗的周期；并大幅减少污染物。

性能优势：
1、最高使用温度可达1300℃；
2、低热膨胀；
3、极强抗热震稳定性；

典型应用：
通常用于光伏太阳能行业中，TOPCON工艺的LPCVD设备和氧化扩散设备中对硅片在高温中的承载传输。

规格型号：
可根据客户图纸制作。

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