碳化硅陶瓷晶舟
MITO DENKO
产品特点
碳化硅陶瓷晶舟,SIC晶舟，陶瓷晶舟纯度>99.675%使用寿命长>5年，主要应用于太阳能、半导体扩散制程。具有耐磨损、耐腐蚀、耐高温冲击，耐电浆轰击、高温承载力大、高导热、高散热、长期使用不易弯曲变形，特点。
性能优势：
1、高密度（≥3.0g/cm3），耐高温，耐酸碱腐蚀；
2、纯度高、杂质含量低 ＜1000ppm；
3、长期清洗、使用不变形，减少卡槽现象发生；
4、寿命长，减少更换频次。
典型应用：
太阳能电池片高温工艺。
规格型号：
可根据客户图纸制作。
