陶瓷机械手指
MITO DENKO
产品特点
用途: 主要在半导体设备中起到输送搬运的作用,它相当于半导体设备这个机器人的“手”,负责搬运晶圆/硅晶片到指定位置;
材料: 99.7%氧化铝陶瓷材料,具备高致密度、高硬度、高耐磨性的物理性质,以及良好的耐热性能、优良的机械强度、高温环境仍具有良好的绝缘性、良好的抗腐蚀性等物理性能;
优点: 避免晶圆/硅晶片表面被划伤;避免受到其他物质的污染;避免损坏等。